羅茨真空泵的工作原理,羅茨真空泵的工作原理圖

  羅茨真空泵工作時(shí)，需要被抽吸的氣體先從羅茨真空泵的吸氣口被真空泵吸入到轉(zhuǎn)子與泵體之間，這個(gè)時(shí)候羅茨真空泵的一個(gè)轉(zhuǎn)子與真空泵泵體把所抽吸的氣體與吸氣口分隔開，被分隔的氣體（參考圖2-11羅茨真空泵的工作原理圖）通過轉(zhuǎn)子連續(xù)不斷的旋轉(zhuǎn)過程中，被排到出氣口。可以查看圖2-11羅茨真空泵的工作原理圖序號(hào)（a）中，V0里面的空間是一個(gè)全封閉的狀態(tài)，所以，不會(huì)壓縮和膨脹。不過當(dāng)轉(zhuǎn)子的峰部旋轉(zhuǎn)到出氣口的附近時(shí)，由于V0部分的真空度比出氣口的真空度要低，為了使相連體積里面的真空度平均，氣體就會(huì)從出氣口擴(kuò)散到V0的區(qū)域，它的擴(kuò)散方向和轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方向是不同的方向。當(dāng)轉(zhuǎn)子再次轉(zhuǎn)動(dòng)的時(shí)候，就會(huì)把V0的氣體壓縮到出氣口將相連部分就會(huì)吸入氣體，當(dāng)轉(zhuǎn)子不停的轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，一直處于上述吸氣過程不停的排出吸進(jìn)來的氣體。這種運(yùn)行過程就等于轉(zhuǎn)子空間由莫一個(gè)zui小值增大到一個(gè)zui大值，隨后再由zui大值降低到zui小值。這就是羅茨真空泵的工作原理。

  羅茨真空泵在吸氣口壓力很小的條件下運(yùn)行時(shí)，由于轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速很高通常在1000-3000r/min左右，轉(zhuǎn)子表面的線速度接近于分子的熱運(yùn)動(dòng)速度，這種情況下碰撞在轉(zhuǎn)子上的氣體分子被轉(zhuǎn)子一起帶到真空度較大的出氣口，再被前級(jí)泵水環(huán)真空泵排出。這就是羅茨真空泵的分子作用工作原理。

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